设备用途
用于制备**导薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、超硬薄膜等。适用于各大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研与小批量制备。
设备组成
系统主要由溅射真空室、旋转靶台、抗氧化基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成。
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主要经营北京维意真空技术应用有限责任公司提供高真空磁控溅射镀膜机和小型桌面型磁控溅射镀膜机,热蒸发镀膜机分为电阻热蒸发镀膜机和**蒸发镀膜机,高真空和手套箱一体机也是可以提供的。真空电极法兰分为真空航插电极法兰、USB真空电极、HDMI真空电极、热电偶真空馈通法兰、陶封电极法兰、BNC真空法兰、sma真空法兰、光纤真空馈通法兰等。。
单位注册资金单位注册资金人民币 250 - 500 万元。
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